1. 亂流式(Turbulent Flow)：空氣由空調機箱經(jīng)風(fēng)管和潔凈室內的空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室內的回風(fēng)柱或高架地板回風(fēng)。氣流是呈不規則的亂流或渦流狀態(tài)。此型式適合于潔凈室等級為：1,000-100,000級。


優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本比較低，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所需提高潔凈等級，可結合潔凈工作臺來(lái)提高潔凈室等級。


缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求的潔凈度，往往須相當長(cháng)一段時(shí)間。


2.層流式(Laminar)：　空氣氣流運動(dòng)成一均勻的直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率的過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側回風(fēng)柱回風(fēng)，此型式適合于級別比較高的潔凈室，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：


(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。


（2）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì )影響其它工作區域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。


3.復合式(Mixed Type)：　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式