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什么是無(wú)塵室?無(wú)塵室的分類(lèi)

日期:2015/4/7 16:44:58 人氣:4507
1. 亂流式(Turbulent Flow):空氣由空調機箱經(jīng)風(fēng)管和潔凈室內的空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室內的回風(fēng)柱或高架地板回風(fēng)。氣流是呈不規則的亂流或渦流狀態(tài)。此型式適合于潔凈室等級為:1,000-100,000級。


優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單、系統建造成本比較低,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所需提高潔凈等級,可結合潔凈工作臺來(lái)提高潔凈室等級。


缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求的潔凈度,往往須相當長(cháng)一段時(shí)間。


2.層流式(Laminar): 空氣氣流運動(dòng)成一均勻的直線(xiàn)形,空氣由覆蓋率的過(guò)濾器進(jìn)入室內,并由高架地板或兩側回風(fēng)柱回風(fēng),此型式適合于級別比較高的潔凈室,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:


(1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單,運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。缺點(diǎn):建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。


(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì )影響其它工作區域。優(yōu)點(diǎn):管理容易,運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn):構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。


3.復合式(Mixed Type): 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式

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